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发布时间:2026-08-19 02:22:23
文章来源:微扑克Wepoker电子
国家知识产权局信息显示ღღ,上海微釜半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆传输设备及立式炉系统”的专利ღღ,公开号CN121620150Awepoker官方下载安卓ღღ,申请日期为2026年1月大团结之乱史目录ღღ。
专利摘要显示线上德扑ღღ,ღღ,本发明公开了晶圆传输设备及立式炉系统ღღ,晶圆传输设备包括ღღ:取放腔体围绕形成取放腔ღღ,取放腔体的预设位置具有与取放腔连通的取放开口ღღ;传输腔体围绕形成传输腔ღღ,传输腔体的一侧具有与传输腔连通的传输开口ღღ,传输腔体位于取放腔体的下方ღღ,传输腔体与取放腔体的连接处具有连通取放腔和传输腔的连通口ღღ;传输机构安装于所述传输腔体wepoker官方下载安卓ღღ,传输机构能够在传输腔内上下左右移动大团结之乱史目录ღღ,以将取放腔体内的晶圆转移到与晶圆传输设备相邻的工艺设备中wepoker下载官网ღღ。ღღ,且将完成工艺处理的晶圆自工艺设备转移至取放腔体ღღ。传输机构用于夹持晶圆盒的夹持结构的间距可调ღღ,能够夹持不同尺寸的晶圆盒wepoker官方下载安卓微扑克ღღ。ღღ,能够降低设备成本提高生产效率wepoker官方下载安卓ღღ。
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